在半導(dǎo)體制造、真空工藝等工業(yè)領(lǐng)域，精確的壓力測(cè)量直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量與工藝穩(wěn)定性，HORIBA堀場(chǎng)的電容式壓力計(jì)正是為此而生的精密測(cè)量利器。

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)和科研實(shí)驗(yàn)中，精確的壓力測(cè)量對(duì)工藝控制、質(zhì)量保障和安全運(yùn)行至關(guān)重要。日本HORIBA堀場(chǎng)作為的分析測(cè)量?jī)x器制造商，其電容式壓力計(jì)系列產(chǎn)品憑借的精度、穩(wěn)定性及耐腐蝕性，成為半導(dǎo)體、電子制造、化工等領(lǐng)域的關(guān)鍵測(cè)量工具。

01 核心工作原理：電容變化的精密測(cè)量

HORIBA電容式壓力計(jì)基于電容變化原理進(jìn)行壓力測(cè)量。其核心是一個(gè)由金屬膜片組成的電容器結(jié)構(gòu)，當(dāng)膜片兩側(cè)存在壓力差時(shí)，膜片會(huì)發(fā)生形變，從而改變兩個(gè)電極之間的電容量。

根據(jù)平行板電容器的基本公式 C=εA/d（其中C為電容量，ε為介電常數(shù)，A為極板相對(duì)面積，d為極板間距），改變極板間距d會(huì)引起電容量的變化。

HORIBA采用創(chuàng)新的電極結(jié)構(gòu)和微型自加熱設(shè)計(jì)，使這種原理轉(zhuǎn)化為高精度的實(shí)際測(cè)量能力。

通過測(cè)量電容量的變化，儀器可以精確計(jì)算出被測(cè)壓力值，并將物理壓力參數(shù)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出，通常為4-20mA模擬信號(hào)或數(shù)字信號(hào)。

這種基于電容變化的測(cè)量原理，賦予了HORIBA壓力計(jì)的精度和出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，使其能夠在苛刻的工業(yè)環(huán)境中保持可靠的測(cè)量性能。

02 產(chǎn)品系列與主要型號(hào)

HORIBA堀場(chǎng)提供了多種型號(hào)的電容式壓力計(jì)，以滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。

VG-200S絕對(duì)壓力計(jì)是HORIBA STEC系列中的代表產(chǎn)品，采用模擬顯示設(shè)計(jì)，壓力測(cè)量范圍0-1.33 bar，工藝溫度最高可達(dá)100°C。

該型號(hào)采用SUS316L隔膜材質(zhì)，提供了溫度控制（55°C或100°C）和非加熱型兩種選擇，適用于對(duì)穩(wěn)定性要求高的真空工藝環(huán)境。

VG-221S電容式壓力計(jì)同樣是一款高性能產(chǎn)品，以其高精度和優(yōu)異的氣體依賴性著稱。

它采用一鍵調(diào)零設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)便，電源要求為+/-15VDC或24VDC，符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)，體現(xiàn)了HORIBA產(chǎn)品在安全性和環(huán)保方面的承諾。

VG-521電容壓力隔膜真空表則配備了PI功能和最新算法，即使面對(duì)快速的壓力波動(dòng)也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。

其多量程/多氣體功能允許用戶更改氣體類型和滿量程流量，并在1秒內(nèi)完成全量程快速響應(yīng)，大大提高了工藝流程的靈活性和效率。

03 技術(shù)特點(diǎn)與性能優(yōu)勢(shì)

HORIBA電容式壓力計(jì)融合了多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)，形成了其顯著的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)。

高精度與穩(wěn)定性

HORIBA電容式壓力計(jì)具有的測(cè)量精度，其壓力輸出對(duì)氣體種類的依賴性較小。

采用創(chuàng)新的電極結(jié)構(gòu)和微型自加熱設(shè)計(jì)，確保了產(chǎn)品在長(zhǎng)期使用中保持高性能和高穩(wěn)定性。這種穩(wěn)定性在連續(xù)運(yùn)行的工業(yè)環(huán)境中尤為重要，可大幅降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間。

優(yōu)異的耐腐蝕性

采用SUS316L不銹鋼隔膜等優(yōu)質(zhì)材料，使HORIBA壓力計(jì)能夠適應(yīng)各種腐蝕性氣體環(huán)境。

在半導(dǎo)體工藝中，經(jīng)常會(huì)使用到腐蝕性氣體，這一特性顯著延長(zhǎng)了儀表的使用壽命，提高了在惡劣環(huán)境下的可靠性。

靈活的溫度控制

HORIBA電容式壓力計(jì)提供溫度控制版本（55°C或100°C）或非加熱型選擇。

這一特點(diǎn)使用戶能夠根據(jù)具體應(yīng)用場(chǎng)景選擇適合的型號(hào)，在需要精確溫度控制的工藝中保持測(cè)量的穩(wěn)定性。

緊湊設(shè)計(jì)與便捷操作

HORIBA壓力計(jì)采用緊湊型設(shè)計(jì)，如VG-521型號(hào)的尺寸僅為其他公司產(chǎn)品的1/20，傳感器截面尺寸僅5厘米，非常適合整合到設(shè)備中。

一鍵調(diào)零功能簡(jiǎn)化了操作流程，降低了使用門檻。

04 主要應(yīng)用領(lǐng)域

HORIBA電容式壓力計(jì)憑借其性能，在多個(gè)高科技產(chǎn)業(yè)中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。

半導(dǎo)體制造業(yè)

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，絕對(duì)壓力測(cè)量對(duì)各種真空工藝至關(guān)重要。

HORIBA電容式壓力計(jì)用于刻蝕、CVD、PVD等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，確保真空環(huán)境的壓力穩(wěn)定，直接影響芯片生產(chǎn)的良率和性能。

平板顯示（FPD）與硬盤（HDD）制造

在FPD和HDD制造過程中，需要精確的真空壓力控制以確保產(chǎn)品質(zhì)量。

HORIBA壓力計(jì)能夠在這些行業(yè)的真空工藝中提供可靠的壓力數(shù)據(jù)，保障大規(guī)模生產(chǎn)的穩(wěn)定性。

光伏（PV）與涂層行業(yè)

太陽能電池制造和精密涂層工藝對(duì)壓力測(cè)量同樣有嚴(yán)格要求。

HORIBA壓力計(jì)的高精度特性滿足了這些行業(yè)對(duì)工藝控制的高標(biāo)準(zhǔn)要求，有助于提高能源轉(zhuǎn)換效率和涂層均勻性。

化工與電子行業(yè)

在化工過程和電子元件制造中，HORIBA壓力計(jì)廣泛應(yīng)用于真空爐、分析儀器等設(shè)備。

其耐腐蝕性和多氣體兼容性使它們能夠適應(yīng)復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境。

05 電容式壓力計(jì)的操作與調(diào)校

正確操作和定期調(diào)校是確保電容式壓力計(jì)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。

基本操作原理

電容式壓力計(jì)通常采用二線制連接，供電電壓為24VDC，輸出4-20mA的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。

這種標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)使它們能夠輕松集成到各種工業(yè)控制系統(tǒng)中，與指示報(bào)警儀、記錄儀、調(diào)節(jié)器等二次儀表配合使用。

調(diào)校方法

電容式壓力計(jì)的調(diào)校主要包括零點(diǎn)調(diào)整和量程調(diào)整。

在調(diào)校前，通常需要先將阻尼電位器反時(shí)針調(diào)到極限位置，即關(guān)掉阻尼作用。

零點(diǎn)調(diào)整是在輸入差壓為0時(shí)，調(diào)整變送器輸出為4mA；量程調(diào)整則是加入相當(dāng)于滿度輸出的差壓信號(hào)，調(diào)節(jié)量程電位器，使變送器輸出為20mA。

需要注意的是，儀表的零點(diǎn)調(diào)整和量程調(diào)整會(huì)相互影響，因此在調(diào)校時(shí)必須反復(fù)調(diào)整零點(diǎn)和滿度，才能使儀表滿足精度要求。

遷移功能

HORIBA電容式壓力計(jì)支持零點(diǎn)遷移功能，可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用需要進(jìn)行正遷移或負(fù)遷移。

這一功能使壓力計(jì)能夠適應(yīng)不同的測(cè)量范圍，提高在特定工況下的測(cè)量精度和靈敏度。

從半導(dǎo)體芯片的真空蝕刻車間到太陽能電池的涂層生產(chǎn)線，HORIBA堀場(chǎng)的電容式壓力計(jì)以其的精度、穩(wěn)定的性能和的耐用性，成為工業(yè)制造領(lǐng)域中的關(guān)鍵測(cè)量設(shè)備。

隨著工業(yè)技術(shù)不斷發(fā)展，對(duì)精密測(cè)量的要求將愈發(fā)嚴(yán)格，HORIBA電容式壓力計(jì)將繼續(xù)在全球工業(yè)進(jìn)程中發(fā)揮著精準(zhǔn)感知與可靠控制的重要作用。