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玉崎科學半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku光學工具
簡要描述：

玉崎科學ONYX 3200半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku光學工具
玉崎科學半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku光學工具

內(nèi)聯(lián)雙頭微點 XRF
無損晶圓檢測和計量

雙 X 射線源（多毛細管/單色），

適用于最大 300 mm 的晶圓

  • 產(chǎn)品型號：ONYX 3200
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-09-29
  • 訪  問  量：134

詳細介紹

玉崎科學半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku光學工具

玉崎科學半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku光學工具


ONYX 3200 概述

ONYX 3200 是市場上先進的混合測量解決方案。這款第二代雙頭工具結(jié)合了先進的 μXRF 和光學技術(shù)，可在在線半導(dǎo)體制造中提供高精度的缺陷檢測和最高的吞吐量。

ONYX 系列系統(tǒng)旨在在從 FEOL 到 WLP 的整個制造過程中提供全面的計量方法。這包括適合先進封裝和單凸點應(yīng)用的配置，并允許監(jiān)控 Ag/Sn 比率。

優(yōu)化源性能

  • 用于過程監(jiān)控的單μbump測量

  • 高產(chǎn)量和增加的吞吐量

  • 準確分析金屬厚度和成分

  • 對層厚度和成分的最大敏感性

二維顯微鏡
二維顯微鏡放大倍數(shù)
 3D掃描儀

玉崎科學半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku光學工具

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ONYX 3200 特點

雙頭 μXRF 配置提供分析靈活性，實現(xiàn)最佳應(yīng)用性能
單色和多色 μXRF 光學系統(tǒng)
低功率X射線，無損分析
聚焦垂直激勵配置
通過排列四個硅漂移探測器（SDD）擴大有效面積并提高分辨率
成分分析和膜厚測量
全自動校準過程提供長期穩(wěn)定性、一致性和X射線管老化校正
實現(xiàn)亞微米精度的先進運動平臺
內(nèi)聯(lián) HVM 測量的理想選擇

ONYX 3200 規(guī)格

測量類型雙頭微點 EDXRF 和光學檢測 (2D-3D)
晶圓尺寸最大300mm
晶圓類型毯子和圖案晶圓
導(dǎo)航精密平臺輔以圖像識別算法
，可快速亞微米導(dǎo)航至單個特征中心
微型 XRF 光束方向正入射微點 (μXRF)
光學系統(tǒng)“多色"（X 射線光學）和顏色“單色"（X 射線光學）
微型 XRF 束斑尺寸可調(diào)范圍為 10 至 50 µm
探測器類型硅漂移探測器 (SDD)：3 種配置
1. 常規(guī) > Al
2. 輕元素：C、N、O、F、S
3. 重元素：> Ge（針對 Ag、Sn 進行了優(yōu)化）
DPP｜數(shù)字脈沖處理器超過 100 萬光子/秒的高效率



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