日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體兼容高能離子注入機(jī)

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體兼容高能離子注入機(jī)

兼容高能離子注入機(jī)SOPHI-400

這是一種高能離子注入機(jī)，可處理高達(dá) 1200keV 的電壓。

中電流離子注入機(jī)IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機(jī)，非常適合大學(xué)的研發(fā)。

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