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日本ULVAC愛發(fā)科半導體熱輥真空熱處理爐
簡要描述:

日本ULVAC愛發(fā)科6090 6150半導體熱輥真空熱處理爐
日本ULVAC愛發(fā)科半導體熱輥真空熱處理爐

  • 產(chǎn)品型號:6090 6150
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-11-25
  • 訪  問  量:138

詳細介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導體熱輥真空熱處理爐

日本ULVAC愛發(fā)科半導體熱輥真空熱處理爐


熱輥真空熱處理爐FHHn系列

可廣泛用于各種金屬零件的熱處理、釬焊、燒結等真空熱處理。 通過采用熱輥輸送方式并組合各單元室,可以構成適合工藝的多室爐。


特征

  • 通過采用熱輥輸送方式,可以實現(xiàn)具有三個以上室的多室爐。

  • 您可以根據(jù)您的工藝,通過組合準備室(真空/大氣交換)、預熱室(通常為 500℃)、加熱室(通常為 1150℃)和冷卻室單元來配置最佳設備。

  • 通過用雙閘閥分隔每個室,可以分離真空/大氣。

  • 通過使用載氣法,可以在蒸發(fā)較少的情況下處理金屬。

  • 可以根據(jù)計劃生產(chǎn)量添加單位。

  • 可以在線處理加熱 1 → 冷卻 1 → 加熱 2 → 冷卻 2 → 從產(chǎn)品組中移除。

目的

  • 真空熱處理:各種金屬的熱處理、釬焊

  • 燒結處理:磁鐵

規(guī)格

規(guī)格/型號60906150評論
表現(xiàn)
尺寸均勻加熱尺寸(mm)寬度600600
長度9001500
高度600600
最大處理量(kg)500800包括托盤重量
溫度最高溫度預熱室600℃
加熱室1200℃
常用溫度預熱室500℃
加熱室1100℃
冷卻氣體冷卻標準30分鐘內Ar、N2氣體
可選
壓力式190kPaG
真空極限壓力標準10 -1帕級空爐脫氣后值
高真空型10 -3帕級
常壓標準(1)1Pa~10Pa(1) 低真空中
(2) 載氣中
標準(2)10Pa~100Pa
高真空型10-210-1
排氣時間準備室10分鐘內空氣爐內氣壓至10Pa以下
預熱室10分鐘內
冷卻室10分鐘內
泄漏率準備室4×10 -4以下增壓法
預熱室4×10 -4以下
加熱室2×10 -4以下
冷卻室4×10 -4以下
公用事業(yè)

3室型
(預熱×1加熱×1冷卻×1)

電能(千伏安)300第480章設備電量
冷卻水量(m 3 /hr)1518水溫:20-30℃
壓縮空氣量(Nm 3 /min)11001100所需流量
載氣量(L/min)80200流量計最大值
冷卻氣體量(m 3 /次)912190kPa加壓冷卻
建筑面積(平方米寬度1012
長度1013
高度5.85.8
5室型
(預熱×2加熱×2冷卻×1)
電能(千伏安)第425章750設備電量
冷卻水量(m 3 /hr)二十五30水溫:20-30℃
壓縮空氣量(Nm 3 /min)11001100所需流量
載氣量(L/min)160300流量計最大值
冷卻氣體量(m 3 /次)911.7190kPa加壓冷卻
建筑面積(平方米寬度1012
長度12.517.5
高度5.85.8


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