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日本進口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
簡要描述：

日本進口ULVAC愛發(fā)科UR421-T/UR600/UR1200多級羅茨干式真空泵
日本進口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

  • 產(chǎn)品型號：UR421-T/UR600/UR1200
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-11-25
  • 訪  問  量：130

詳細介紹

日本進口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

日本進口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵


通過在高溫范圍內(nèi)均勻加熱泵體，
泵能夠?qū)VD、蝕刻等過程中產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以氣態(tài)排出。

特征


  • 可以將在高溫區(qū)域的均熱CVD、蝕刻等中產(chǎn)生的升華廢氣以氣態(tài)排出。
    UR系列可以達到比HR系列更高的溫度。


  • 配備氦氣密閉電機，密封結(jié)構(gòu)，安全性高

  • 瞬時停電對策：
    實施1000msec以內(nèi)的瞬時停電對策。

  • 優(yōu)異的耐腐蝕性
    主要部件采用特殊表面處理，表面硬度高，耐腐蝕性優(yōu)異。當腐蝕性氣體排出時，減少泵內(nèi)部的腐蝕。

  • 通訊功能：
    可以讀取與泵運行狀態(tài)和警告/報警歷史相關的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件并與計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。

目的

  • 化學氣相沉積設備

  • 蝕刻設備

  • 灰化裝置

  • 酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等

規(guī)格

模型UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵數(shù)據(jù)恢復計劃
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
MBP-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大抽速　　410 立方米/小時
（6833 升/分鐘）		653 立方米/小時
（10883 升/分鐘）		1012 立方米/小時
（16867 升/分鐘）		1701 立方米/小時
（28350 升/分鐘）		2700立方米/小時
（45000升/分鐘）
極限壓力
5.0帕
最大入口壓力
（吸入壓力）		大氣壓*1
最大排氣口壓力
（排出壓力）		1~大氣壓Pa
進氣口（CE規(guī)格）VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)

VG150

排氣口VG50
西北40
西北50
大量的415公斤370公斤403公斤553公斤720公斤
電力三相180-240VAC/
380-440VAC
（50/60Hz）		200VAC(50/60Hz) /220VAC(60Hz)180-240VAC/
380-440VAC
（50/60Hz）
當前值穩(wěn)定狀態(tài)23A（200V 時）16.4A（200V 時）18.9A（200V 時）29.2A（200V 時）
20.5A（400V 時）		39.8 A（200V 時）
20.5 A（400V 時）
最大值52.5A（200V 時）17.3A（200V 時）22.4A（200V 時）34.9 A（200V 時）
40.5 A（400V 時）		68.3 A（200V 時）
40.5 A（400V 時）
冷卻水暫壓0.2~0.5兆帕0.1~0.3兆帕0.2~0.5兆帕
冷卻水進出水壓差>0.2兆帕>0.1兆帕>0.1兆帕>0.1兆帕>0.2兆帕
冷卻水流量>5.0升/分鐘
吹掃氣體一次壓力0.1~0.5兆帕
二次壓力0.05~0.1兆帕
氮氣吹掃軸5 可持續(xù)發(fā)展管理
加斯巴拉0~195 SLM0~45SLM0~195 SLM0~195 SLM

*1 請勿在吸入壓力為 200Pa 或更高的情況下連續(xù)運行 UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT。
*對于規(guī)格表中未列出的UR系列的訂單，請單獨檢查。




■駕駛模式

駕駛方式123
氮氣流量可持續(xù)發(fā)展管理055~50 *1

訂購時請注明驅(qū)動方式。 （UR系列的標準設定：3）
*1 UR421-T、UR3601-TT的N2流量為5～200SLM。


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