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HORIBA堀場全新排氣壓力控制器玉科精品優(yōu)選
簡要描述：

HORIBA堀場FS-3000全新排氣壓力控制器玉科精品優(yōu)選
HORIBA堀場全新排氣壓力控制器玉科精品優(yōu)選

  • 產(chǎn)品型號：FS-3000
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2025-02-12
  • 訪  問  量：95

詳細(xì)介紹

HORIBA堀場全新排氣壓力控制器玉科精品優(yōu)選

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排氣壓力控制器

EC-5000 系列排氣壓力控制器可以在腔室內(nèi)保持一致的壓力，由用戶選擇。高分辨率步進(jìn)電機和的蝶閥確保對任何壓力變化做出快速、靈敏的響應(yīng)。

好處：

  • 適用于高真空：不銹鋼機身

  • 耐腐蝕：還提供帶 PTFE 主體的型號

  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)。

當(dāng)排氣流量調(diào)整到優(yōu)良水平時：

  • 光刻膠分布在均勻的薄膜中

  • 防止油霧的二次沉積

  • 防止危險蒸氣的擴(kuò)散。

與流量傳感器控制相比，由于光刻膠和其他污染的積累引起的靈敏度變化較小，并且消除了湍流和其他噪聲的影響，從而實現(xiàn)了穩(wěn)定、響應(yīng)性的控制。


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