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當前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > HOROBIBA > 質(zhì)量流量模塊 > XF-102/XF-104日本HORIBA堀場原裝數(shù)字式液體質(zhì)量流量計
產(chǎn)品型號：XF-102/XF-104廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2025-02-19訪 問 量：87
產(chǎn)品分類
CLASSIFICATION
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詳細介紹
日本HORIBA堀場原裝數(shù)字式液體質(zhì)量流量計
日本HORIBA堀場原裝數(shù)字式液體質(zhì)量流量計
LU 系列以不間斷、安全和可靠的方式將液態(tài)化學品輸送至液體材料烘烤系統(tǒng)和注入系統(tǒng)。這增加了正常運行時間，減少了操作人員手動操作和制程污染的風險。
LU 系列提供自動執(zhí)行殘余液體清洗程序的功能。
使用 LU 系列提高了供液能力和保養(yǎng)效率。
蒸汽壓力監(jiān)視功能作為標準配置，可在更換母罐期間檢查吹掃效率
可選配稱重傳感器，監(jiān)視母罐中殘余液體總量
LU-A1000 系列設計緊湊，采用集成氣體系統(tǒng)，與傳統(tǒng)配件相比，可顯著減小尺寸
日常維護時輕松更換部件
脫氣器模塊為標準配置，可降低液體鼓泡風險，適用于各種汽化系統(tǒng)，包括注入和烘烤應用
安全標準：SEMI S2/S8/S14, CE 標志
安全改善：多樣化的監(jiān)視設備提供全自動控制。LU-A1000 系列配備了自動緊急關機功能，一旦系統(tǒng)出現(xiàn)故障，該功能將被啟動
可操作性改進：操作步驟全自動化，防止操作失誤。操作也可以通過設備前端的觸控面板來控制
模型 | LU-A1000 系列 |
支持液體 | TEOS、TMOB、TMOP、TEOP、BTBAS |
供給方式 | 氦氣的壓力運動 |
供氣壓力 | 壓力移動用：0.3～0.6 MPa(G)；清洗用：0.3～0.6 MPa(G)，OP N 2 0.6～0.7 MPa(G) |
坦克 | 最大可連接 5 加侖容器（超出生產(chǎn)范圍） |
手術 | 使用供給系統(tǒng)的外部信號自動供給/停止 |
操作區(qū)顯示詳情 | 壓力誤差顯示；報警時：顯示保持功能（手動復位）；液位顯示；順序等。 |
燃氣連接 | 參考基本流程 |
電源 | 交流 100 至 240 V，50/60 Hz，300 VA |
電力連接 | AC 100 至 240 V 斷路器連接，信號插座 |
外形尺寸 | 參見外形尺寸圖 |
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