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Osaka Vacuum大阪真空小型通信復(fù)合分子泵
簡(jiǎn)要描述：

Osaka Vacuum大阪真空TG60F小型通信復(fù)合分子泵
Osaka Vacuum大阪真空小型通信復(fù)合分子泵
特點(diǎn)：
輕巧設(shè)計(jì)
節(jié)能
迅速啟動(dòng)
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強(qiáng)
多種通信模式

  • 產(chǎn)品型號(hào)：TG60F/TG60F-20
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2025-04-19
  • 訪  問  量：18

詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空小型通信復(fù)合分子泵

Osaka Vacuum大阪真空小型通信復(fù)合分子泵


  • 全面安裝

  • 輕巧設(shè)計(jì)

  • 節(jié)能

  • 迅速啟動(dòng)

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大氣沖擊能力強(qiáng)

  • 多種通信模式

用途

  • 半導(dǎo)體制造

  • 電子槍排氣，離子源排氣

  • FPD制造

  • 表面處理，表面改質(zhì)

  • 各種電子部件的制造

  • 分析，試驗(yàn)裝置

  • 管球制造，光學(xué)部件制造

  • 加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究

  • 熱處理

  • 研究開發(fā)

※排放腐蝕性氣體時(shí)，請(qǐng)選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。

型號(hào)TG60FTG60F-20
吸氣口法蘭ISO-R63、CF63、(KF40)※4
排氣速度N2 (L/s)60
N2(附加金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s)55
H2 (L/s)22
最大壓縮比N22×107
H22×103
極限壓力VG?ISO-R/CF (Pa)<5×10-6 / <1×10-6
VG?ISO-R/CF (Torr)<3.8×10-8 / <7.5×10-9
最大氣體流量※1自然風(fēng)冷 N2 (sccm)10
制風(fēng)冷 N2 (sccm)20
啟動(dòng)時(shí)間(min) 1.5-2
允許輔助壓力(Pa/Torr)800 （6）
推薦輔助泵(L/min)≧25
重量※2ISO-R/CF(kg) 3.4 / 5.4
控制器型號(hào)※3TC65TC66
輸入電壓（V）DC24VAC100-230V(±10%)
所需最大電力（W)120W160VA

※1：輔助泵的容量是25L/min情況下的最大容許流量
※2：TG60F的情況。TG60F-20查看右方記載。ISO-R型…3kg CF型…5kg
※3：可選擇泵和控制器一體型(TC65)或者是分離式型(TC66)
※4：關(guān)于吸氣口法蘭KF40的規(guī)格請(qǐng)另行咨詢銷售人員。

[ 使用環(huán)境溫度 ]

極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度是8～38℃

[ 對(duì)應(yīng)氣體種類 ]

由于排氣的氣體種類不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對(duì)應(yīng)的氣體種類請(qǐng)咨詢銷售人員。



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